| 三氯氫硅（SiHCl3 ）TCS | |
| 化學式 | SiHCl3 |
| 中文名稱 | 三氯氫硅 |
| 英文名稱 | Trichlorosilane |
| CAS No. | 10025-78-2 |
| 分子量 | 135.43 |
| 充裝系數 | 250kg；20000kg |
| 應用 | 多晶硅、單晶硅原料、外延成長、硅液、硅油、化學氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。 |
四氟化硅無色、有毒、有刺激性臭味的氣體，易潮解，在潮濕空氣中可產生濃煙霧。在1318mmHg(1mmHg=133.322Pa)壓力下的熔點(三相點)為-90.2℃。在-95.7℃升華。液體的相對密度為1.590(-88℃)。吸濕性非常強，但如果完全無濕氣時，并不腐蝕玻璃、汞、活塞上的潤滑脂、橡膠等。加壓下變成液體。
