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電子特種氣體

四氟化硅(SiF4)

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詳情介紹:

三氯氫硅(SiHCl3 )TCS
   
化學式 SiHCl3
中文名稱 三氯氫硅
英文名稱 Trichlorosilane
CAS No. 10025-78-2
分子量 135.43
充裝系數 250kg;20000kg
應用 多晶硅、單晶硅原料、外延成長、硅液、硅油、化學氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。

  四氟化硅無色、有毒、有刺激性臭味的氣體,易潮解,在潮濕空氣中可產生濃煙霧。在1318mmHg(1mmHg=133.322Pa)壓力下的熔點(三相點)為-90.2℃。在-95.7℃升華。液體的相對密度為1.590(-88℃)。吸濕性非常強,但如果完全無濕氣時,并不腐蝕玻璃、汞、活塞上的潤滑脂、橡膠等。加壓下變成液體。
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